視頻顯微鏡的發明初的雛形是拍照顯微鏡，將顯微鏡下的圖像通過照相機鏡頭，投影到感光照片上，從而能透過圖片來觀察到需要被測物的成像。隨著CCD攝像機的廣泛應用，顯微鏡也可以將實時的圖像轉移到屏幕上，直接實時觀察，并且能同時通過相機拍攝，一舉兩得。這就是視頻顯微鏡。在八十年代中，隨著數碼業與電腦業的飛速發展，視頻顯微鏡的功能也得到了全面提升，操作使用更簡便。到九十年代末，半導體行業快速發展，晶元的出現，視頻顯微鏡的優勢凸顯，配合的功能更強大，硬件與軟件相結合，智能化，人性化，使視頻顯微鏡在工業中的地位大大提升。