一起來了解下鍍膜儀的特性
更新時間：2020-01-15 點擊次數：1293
什么是鍍膜？在陽極與陰極之間使用合適的氣體(常用的是氬氣)和電壓，當出現輝光放電時，陰極材料在氣體離子的轟擊下將侵蝕目標材料，其結果是濺射出來的原子(陰極材料)將在樣本(通常樣本固定于陽極上)表面形成一層薄膜，均勻分布在樣本的表面，這個過程就叫鍍膜。
鍍膜儀是一款結構緊湊的桌上型鍍膜系統，采用隔膜泵和渦輪分子泵，無油真空系統，真空度可達2×10-6mbar。鍍膜細膩均勻。內置石英膜厚檢測器，可精確控制鍍膜厚度。全自動電腦控制，自動完成抽真空，鍍膜，放氣等全過程，一鍵操作，采用觸摸屏控制，簡單方便，特別適用于掃描電鏡成像中非導電樣品高質量鍍膜。
鍍膜儀的主要特性：
1、自動的換氣與泄氣功能，可以得到一致的膜厚和較好的導電噴鍍效果。
2、通過高效低壓直流磁控頭進行冷態精細的噴鍍過程，避免樣品表面受損。
3、操作容易快捷，可全自動或手動進行噴鍍操作，控制的參數包括自動放氣以及氬氣換氣控制。
4、在自動模式下，可通過兩種方式進行控制鍍膜過程，可通過數字顯示器控制得到可重現的噴鍍效果，
5、通過使用高分辨膜厚控制儀（選件）在達到設定膜厚時停止噴鍍過程。
6、可用高分辨膜厚控制儀（選件）手動停止噴鍍過程。
7、數字化的噴鍍電流控制不受樣品室內氬氣壓力影響，可得到一致的鍍膜速率和較好的鍍膜效果。
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